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臺積電或?qū)⒃?022年量產(chǎn)3nm工藝,普樂斯等離子清洗機

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文章導讀:普樂斯等離子清洗機根據(jù)C114、網(wǎng)易科技相關(guān)內(nèi)容,今年臺積電技術(shù)論壇以線上形式舉辦,臺積電總裁魏哲家在此次論壇上透露了臺積電的半導體制程規(guī)劃,或?qū)⒃?022年下半年量產(chǎn)3nm。
      普樂斯等離子清洗機根據(jù)C114通信網(wǎng)、網(wǎng)易科技相關(guān)內(nèi)容,今年臺積電技術(shù)論壇以線上形式舉辦,臺積電總裁魏哲家在此次論壇上透露了臺積電的半導體制程規(guī)劃,或?qū)⒃?022年下半年量產(chǎn)3nm。
臺積電或?qū)⒃?022年量產(chǎn)3nm工藝-普樂斯等離子清洗機
      在論壇上,魏哲家先生表示,臺積電的7nm晶圓出貨量已達到10億顆里程碑,在7nm工藝量產(chǎn)1年后,臺積電又推出了強xiao版7nm工藝即導入EUV;5nm工藝目前也正在加速量產(chǎn),預計2021年,強xiao版5nm工藝也將量產(chǎn)。對應的5nm工藝速度會比7nm提升15%,功耗下降30%,電晶體密度提升80%。據(jù)了解,4nm工藝也是在5nm工藝的基礎上,并且或?qū)⒃诿髂晁募径乳_始量產(chǎn)。
      明年,臺積電還將對3nm工藝進行試產(chǎn),預計可將在2022年下半年,正式量產(chǎn)3nm工藝。與當前的5nm工藝相比,3nm的工藝速度可再次提升15%,功耗下降30%,電晶體密度提升70%。除3nm工藝的消息外,臺積電方面表示也已經(jīng)啟動2nm全新制程的研發(fā)。
臺積電或?qū)⒃?022年量產(chǎn)3nm工藝-普樂斯等離子清洗機
本文來源:C114通信網(wǎng)、網(wǎng)易科技
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    3)設備維護簡單,只需進行簡單的清洗和更換
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    5)非接觸式的清洗方式避免損壞工
    6)閉環(huán)系統(tǒng)不會破壞生產(chǎn)車間(潔凈室)的氣流平衡

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    ‌工藝可控‌:通過調(diào)整工作氣體種類、壓力、功率等參數(shù),可精確控制清洗過程‌。


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