射頻放電微等離子體的結(jié)構(gòu)上有哪些特點？普樂斯等離子清洗機介紹
文章導(dǎo)讀：普樂斯等離子清洗機在之前文章已經(jīng)對射頻大氣壓輝光放電有所介紹，那麼，要是在射頻放電中，將放電的間隙進一步縮小到微等離子體尺度內(nèi)，即為1mm左右，乃至到了幾百微米的量級，射頻微等離子體又會產(chǎn)生哪些新的特點呢？
如下圖所示，是在同樣的電流條件下，射頻微等離子體鞘層區(qū)與等離子體區(qū)的分布比例。在給定電流密度0.06A/cm2，當(dāng)放電間隙慢慢增加，通過實驗和計算都表明鞘層開始慢慢增加，而當(dāng)極板間隙增加多于500μm后，鞘層厚度基本保持在215μm不變。而對于等離子體區(qū)的厚度，其從100μm到900μm一直在單一性提升，普樂斯等離子清洗機介紹。
通過上圖能夠知道的是，當(dāng)放電間隙小于500μm時，放電等離子體由傳統(tǒng)的輝光放電結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)化為一種鞘層主導(dǎo)的結(jié)構(gòu)，即鞘層成為放電空間的主要部分。同時，數(shù)值模擬還顯示，在鞘層主導(dǎo)的放電結(jié)構(gòu)中，一整個放電空間無法保持電中性，而是呈現(xiàn)為電正性，如下圖所示。
要是想在射頻微等離子中繼續(xù)獲得正常的輝光結(jié)構(gòu)，保障放電間隙內(nèi)的電中性，提高放電頻率是一種可行的方法。下圖給出了在不同頻率下兩個周期電子密度的時空分布。圖中顯示，當(dāng)頻率為13.56MHz時，僅僅在電極附近才有大量的電子，其密度近似3.06×1011cm-3。
而當(dāng)頻率增加到27.12MHz時，產(chǎn)生的3.15×1011cm-3的電子密度在極板間由于外加電壓的改變來回振蕩，從一個極板到另一個極板，基本占據(jù)了一整個間隙。由于頻率進一步增加到54.24MHz，在放電間隙產(chǎn)生的高密度電子，形成一個穩(wěn)定的中性等離子體區(qū)。這些數(shù)據(jù)表明，由于頻率的提升，放電結(jié)構(gòu)也發(fā)生了變化，傳統(tǒng)的輝光結(jié)構(gòu)也能夠產(chǎn)生。
普樂斯電子10年專注研制等離子清洗機，等離子體清洗機，等離子清洗設(shè)備，常壓大氣和低壓真空型低溫等離子表面處理機，已通過ISO9001質(zhì)量體系和歐盟CE認證，為電子、半導(dǎo)體、汽車、yi療等領(lǐng)域的客戶提供清洗，活化，刻蝕，涂覆的等離子表面處理解決方案，是行業(yè)內(nèi)值得信賴的等離子清洗機廠家。如果您想要了解更多關(guān)于產(chǎn)品的詳細內(nèi)容或在設(shè)備使用中有疑問，歡迎點擊普樂斯的在線客服進行咨詢，或者直接撥打全國統(tǒng)一服務(wù)熱線400-816-9009，普樂斯恭候您的來電！
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