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等離子體清洗機(jī)探針參數(shù)分析為什么復(fù)雜？如何優(yōu)化？

來源：普樂斯瀏覽：次發(fā)布日期：2020-04-26 09:20【大中小】

文章導(dǎo)讀：用于等離子體清洗機(jī)的等離子體參數(shù)測(cè)量和診斷的探針分析，是使用簡(jiǎn)單的一種等離子診斷方式，但這一方法也有其復(fù)雜性，為什么說起復(fù)雜？在實(shí)際操作中又該如何優(yōu)化呢？普樂斯等離子體清洗機(jī)介紹。

用于等離子體清洗機(jī)的等離子體參數(shù)測(cè)量和診斷的探針分析，是使用簡(jiǎn)單的一種等離子診斷方式，但這一方法也有其復(fù)雜性，為什么說起復(fù)雜？在實(shí)際操作中又該如何優(yōu)化呢？普樂斯等離子體清洗機(jī)介紹。

為了減少探針對(duì)等離子體的干擾，方便探針的制作，探針一般會(huì)選擇一根半徑為a<λDe的細(xì)導(dǎo)線。因而在確定探針收集到的電流時(shí)，務(wù)必了解帶電粒子在其鞘層內(nèi)的運(yùn)動(dòng)路徑，這導(dǎo)致探針分析變的相當(dāng)復(fù)雜。當(dāng)探針電壓遠(yuǎn)高或遠(yuǎn)低于等離子體電位時(shí)，其鞘層寬度將增加，而且有效收集面積也隨之增加。

此外結(jié)構(gòu)更為復(fù)雜的雙探針和發(fā)射探針，已經(jīng)被證明在許多情況下都是非常有用的。在射頻驅(qū)動(dòng)的等離子體清洗機(jī)中，等離子體電位的振蕩也使得分析更加復(fù)雜。因?yàn)槲覀円话阆Ｍ詼?zhǔn)靜電方式使用探針，所以通常使探針偏壓隨等離子體電位一起振蕩，以消除低溫等離子表面處理機(jī)電位振蕩對(duì)探針測(cè)量的影響。

那么等離子體清洗機(jī)探針分析結(jié)果該如何優(yōu)化呢？在探針測(cè)量的理論中，通常假設(shè)等離子體中的電子具有麥克斯韋分布。但是，在許多情況下，電子會(huì)偏離麥克斯韋分布。因此通常測(cè)量電子能量分布函數(shù)，則可將其直接用于的低溫等離子表面處理機(jī)的等離子體密度的計(jì)算中。

將由探針離子飽和電流計(jì)算得到的等離子體密度與使用其他測(cè)量技術(shù)得到的結(jié)果展開比較，可以發(fā)現(xiàn)在某些放電條件下，由微波測(cè)量得出等離子體密度更準(zhǔn)確，由探針離子飽和電流測(cè)得的密度一般比微波測(cè)出的結(jié)果高一些。殊不知在許多情況下，用探針和微波技術(shù)測(cè)得的密度是很貼近的。使用離子飽和電流測(cè)量等離子體密度的精度關(guān)鍵在于在探針鞘層邊界處的電子分布是不是貼近于麥克斯韋分布，因而與所診斷的等離子體類型有關(guān)。

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‌工藝可控‌：通過調(diào)整工作氣體種類、壓力、功率等參數(shù)，可精確控制清洗過程‌。