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用于等離子清洗機(jī)參數(shù)診斷的朗繆爾探針是什么樣的?

返回列表 來(lái)源:普樂(lè)斯 瀏覽: 發(fā)布日期:2020-04-23 09:53【
文章導(dǎo)讀:等離子清洗機(jī)處理效果的影響因素有很多,等離子參數(shù)是重要的影響因素,那么能夠知道,對(duì)等離子清洗設(shè)備的等離子體參數(shù)進(jìn)行測(cè)量和診斷是具有重要意義的。
等離子清洗機(jī)處理效果的影響因素有很多,等離子參數(shù)是重要的影響因素,那么能夠知道,對(duì)等離子清洗設(shè)備的等離子體參數(shù)進(jìn)行測(cè)量和診斷是具有重要意義的。測(cè)量和診斷等離子體參數(shù)的方式比較多,朗繆爾探針?lè)ň褪茄赜弥两竦囊环N常見(jiàn)診斷方式,那么這種朗繆爾探針?lè)ㄊ鞘裁礃拥哪兀?/span>
朗繆爾探針關(guān)于電壓和電流的定義-普樂(lè)斯等離子清洗機(jī)
朗繆爾探針?lè)ū举|(zhì)上是使用一種靜電探針,通過(guò)將一根金屬探針插入到等離子體中,并對(duì)其施加正或負(fù)的偏置電壓以收集電子或離子電流。與任何其他電極一樣,探針周?chē)鷷?huì)形成一個(gè)鞘層,且面積通常是非常小的,因此,在適當(dāng)?shù)臈l件下,它們只對(duì)等離子清洗機(jī)的等離子體產(chǎn)生小的局域干擾。上圖示出了一個(gè)探針的電壓和電流的定義。
朗繆爾探針典型的探針電壓-電流特征曲線-普樂(lè)斯等離子清洗機(jī)
在實(shí)際的參數(shù)診斷過(guò)程中,探針相對(duì)于地的偏置電壓為VB,而等離子體相對(duì)于地的電位為φp。當(dāng)探針電壓Vb=φp時(shí),探針處于與等離子體相同的電位,此時(shí)它收集到的電流主要來(lái)自易動(dòng)的電子。當(dāng)增加Vb并使其超過(guò)φp時(shí),電流將趨于飽和而達(dá)到電子飽和電流值,但電流也會(huì)因探針有效收集面積的增加而隨電壓增加,這與探針的幾何形狀有關(guān)。不過(guò)當(dāng)探針電壓變化時(shí),它的有效收集面積也會(huì)有所改變,進(jìn)而引起離子飽和電流的改變。當(dāng)然由于離子的質(zhì)量遠(yuǎn)大于電子,所以離子飽和電流遠(yuǎn)小于電子飽和電流。變化規(guī)律正如上圖典型的探針電壓-電流特征曲線所示。

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    1)能有效去除大于3μm的顆粒
    2)不需要高純水和化學(xué)藥劑等,同時(shí)不需要后續(xù)烘干工藝
    3)設(shè)備維護(hù)簡(jiǎn)單,只需進(jìn)行簡(jiǎn)單的清洗和更換
    4)沿噴嘴線性均衡的超聲波使得工件橫向清洗性能保持一致
    5)非接觸式的清洗方式避免損壞工
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    真空等離子清洗機(jī)作為一種高效、無(wú)介質(zhì)的表面處理設(shè)備,具有廣泛的應(yīng)用前景。其工作原理基于等離子體在真空環(huán)境中產(chǎn)生的化學(xué)反應(yīng)和物理效應(yīng),具有高效清洗、無(wú)介質(zhì)清洗、可選擇性清洗、表面改性和自動(dòng)化操作等優(yōu)勢(shì)。

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    ‌高效徹底‌:能夠深入微納米級(jí)孔隙中,徹底清除難以觸及的污染物。

    ‌環(huán)保節(jié)能‌:無(wú)需使用化學(xué)溶劑,減少?gòu)U水廢氣排放,符合綠色生產(chǎn)要求,且能耗低。

    ‌廣泛適用‌:適用于多種材料表面,包括金屬、陶瓷、玻璃、塑料等,不會(huì)對(duì)材料性能產(chǎn)生負(fù)面影響。

    ‌工藝可控‌:通過(guò)調(diào)整工作氣體種類(lèi)、壓力、功率等參數(shù),可精確控制清洗過(guò)程‌。


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